Viktiga material som används vid sputtering av tunnfilmsbeläggningar

Sputteringprocessen förångar ett källmaterial, ett så kallat mål, för att avsätta en tunn, högpresterande film på produkter som halvledare, glas och bildskärmar. Målets sammansättning definierar direkt beläggningens egenskaper, vilket gör materialvalet avgörande.

Ett brett utbud av metaller används, var och en utvald för specifika funktionella fördelar:

Grundmetaller för elektronik och mellanlager

Högren koppar är uppskattad för sin exceptionella elektriska ledningsförmåga. Mål av 99,9995 % ren koppar är avgörande för att skapa de mikroskopiska kablarna (kopplingarna) inuti avancerade mikrochips, där minimal elektrisk resistans är avgörande för hastighet och effektivitet.

Högren nickel fungerar som en mångsidig arbetshäst. Den används främst som ett utmärkt vidhäftningslager och en pålitlig diffusionsbarriär, vilket förhindrar att olika material blandas och säkerställer strukturell integritet och livslängd hos flerskiktskomponenter.

Eldfasta metaller som volfram (W) och molybden (Mo) värderas för sin höga värmebeständighet och stabilitet, och används ofta som robusta diffusionsbarriärer och för kontakter i krävande miljöer.

Specialiserade funktionella metaller

Högrent silver erbjuder den högsta elektriska och termiska ledningsförmågan av alla metaller. Detta gör det idealiskt för att avsätta högledande, transparenta elektroder i pekskärmar och briljant reflekterande beläggningar med låg emissionsförmåga på energibesparande fönster.

Ädelmetaller som guld (Au) och platina (Pt) används för mycket tillförlitliga, korrosionsbeständiga elektriska kontakter och i specialiserade sensorer.

Övergångsmetaller som titan (Ti) och tantal (Ta) är avgörande för deras utmärkta vidhäftnings- och barriäregenskaper, och bildar ofta det grundläggande lagret på ett substrat innan andra material appliceras.

Även om denna mångsidiga materialverktygslåda möjliggör modern teknik, förblir prestandan hos koppar för konduktivitet, nickel för tillförlitlighet och silver för suverän reflektivitet oöverträffad i deras respektive tillämpningar. Den konsekventa kvaliteten hos dessa högrena metaller är grunden för högpresterande tunnfilmsbeläggningar.